Détails sur le projet
Description
The scope of this work is to develop comprehensive and methodical approach to reduce the losses in Silicon Nitride (SiN) in order to achieve an ultra-high quality (Q) factor (e.g. 100 million) of on-chip resonators.
| Statut | Terminé |
|---|---|
| Date de début/de fin réelle | 8/18/15 → 5/18/16 |
Financement
- Defense Advanced Research Projects Agency: 300 000,00 $ US
Keywords
- Ciencias sociales (todo)
Empreinte numérique
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